Angle measurement error and compensation for decentration rotation of circular gratings

2010哈尔滨工业大学学报：英文版Engineering被引 3

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陈希军, 王振桓, 曾庆双. Angle measurement error and compensation for decentration rotation of circular gratings[J]. 哈尔滨工业大学学报：英文版, 2010.

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