水导激光的微射流控制技术进展(特邀)
摘要
随着航空航天、微电子、通信及医疗等领域的迅猛发展,专业设备的材料加工对应力、热量控制等要求不断提高。然而,由于当前的常规激光加工与机械加工等手段存在加工效率低、热损伤严重等问题,水导激光技术应运而生。通过把高能激光耦合至微水射流中,有效地解决了传统加工技术存在的热损伤和应力问题,在超精密加工领域彰显出极大优势。对其微射流控制技术的进展进行系统综述,包括射流稳定性提升、流场动力学及射流动力学机制讨论、微射流引导激光耦合技术的关键要素,同时还探讨水导激光法的加工机理和加工质量的影响因素,指出当前研究存在的局限性并展望了未来的研究趋势。
引用本文(GB/T 7714)
苏泽文 Su Zewen, 蒋家亮 Jiang Jialiang, 孙盛芝 Sun Shengzhi, 等. 水导激光的微射流控制技术进展(特邀)[J]. Chinese Journal of Lasers, 2025.
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