镀膜类薄膜应力检测技术研究进展
摘要
镀膜类薄膜残余应力是镀膜工艺中不可避免的物理现象，对薄膜的力学性能、光学性能及长期稳定性有直接影响。随着现代材料科学与工程技术的发展，薄膜残余应力的检测成为科学研究和工业应用中的重要环节，对评估材料可靠性至关重要。从全局应力检测和局部应力检测两方面综述了当前国内外常用的7类镀膜类薄膜残余应力检测方法，涵盖了传统的物理检测技术与新兴的组合检测技术。并详细阐述了各方法的检测原理、公式推导、精度比较、应用案例、适用条件及其局限性。不同检测技术在适用性上存在显著差异，需综合考虑薄膜的材料特性、应用背景以及实际需求，以便针对性地选用最适合的检测手段。旨在为科研人员提供一个关于镀膜类薄膜应力检测技术的全面概述，为实际应用中的技术选择和优化提供参考。
引用本文（GB/T 7714）
杨茉岚 Yang Molan, 徐文宽 Xu Wenkuan, 杨燕初 Yang Yanchu, 等. 镀膜类薄膜应力检测技术研究进展[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2025.
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