原位调制的相变光子多值器件结构优化
摘要
针对硫系相变材料硒化锑的电热调控特性，通过有限元仿真分析对比几种加热器结构的热场分布，并设计出U形加热结构。该结构能够满足原位调制需求，同时继承了蝶形结构的高热效率特性。实验验证表明，该结构在1550 nm的通信波段成功实现马赫-曾德尔干涉仪的完整2π相位调制，能够保持μs量级（500 μs）的响应速度，同时获得了98个可分辨状态（超过6-bit）。本工作为光子计算提供了高精度、非易失的权重调控硬件单元，在光矩阵运算、神经形态计算等领域中具有重要应用价值。
引用本文（GB/T 7714）
宋兵 Song Bing, 熊甘霖 Xiong Ganlin, 张亨宇 Zhang Hengyu, 等. 原位调制的相变光子多值器件结构优化[J]. Acta Optica Sinica, 2025.
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