基于飞秒激光增强湿法刻蚀制备的光波导研究进展
摘要
光波导在波导激光器、频率转换器、超连续谱产生等领域均有着重要应用。在各种制备技术中，飞秒激光加工是在透明介电材料中加工波导结构最有效的手段之一，其实现方式主要包括飞秒激光直接加工诱导折射率改变和飞秒激光增强湿法刻蚀两种。重点介绍了飞秒激光增强湿法刻蚀制备光波导的原理及其研究进展，涉及选择性刻蚀产生的原理、波导加工的过程、工艺参数对于刻蚀的影响，以及波导的应用等，分析了目前飞秒激光增强湿法刻蚀制作基于中空通道的波导存在的问题以及可能的解决办法，并对这一加工方式的未来发展进行了展望。
引用本文（GB/T 7714）
伍杰 Wu Jie, 李悦 Li Yue, 邓国亮 Deng Guoliang, 等. 基于飞秒激光增强湿法刻蚀制备的光波导研究进展[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2025.
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