非连续波长扫频的多表面干涉测量方法及实验验证
摘要
波长扫频干涉测量系统的深度分辨率受限于波数扫频带宽，当激光器的非连续输出导致可用的带宽受限时，测量系统的深度分辨率会显著下降。针对该问题，国际上通用的解决方案是合成非连续波长扫频前后的波数序列，但该方案会导致旁瓣异常，影响后续的深度分辨与相位重构。提出了基于最小二乘谱的非连续波长扫频干涉信号校正方法，抑制了非连续扫频合成引起的异常旁瓣，提高了波长扫频干涉技术的适用性。最小二乘谱通过最小化误差平方和，判断信号的周期变换趋势并评估拟合模型的置信度，使所提方法在非均匀采样的情况下仍能获得精确的频谱信息。在仿真实验中，利用最小二乘谱计算的干涉相位与理想相位的平均误差和标准误差均小于0.036 rad。在实际实验结果中，最小二乘谱解调的多表面高精度参数为：光楔倾角误差为0.34′，平凸透镜平面标准误差为21.66 nm，平凸透镜曲率半径误差为13 μm。所提出的最小二乘谱方法能够有效校正非连续波长扫频干涉信号，提高深度分辨率，正确重构相位，从而实现高精度的多表面测量。
引用本文（GB/T 7714）
裘昊 Qiu Hao, 董博 Dong Bo, 谢胜利 Xie Shengli, 等. 非连续波长扫频的多表面干涉测量方法及实验验证[J]. Chinese Journal of Lasers, 2025.
引文网络
本站仅收录题录与摘要供学习参考，全文版权归属出版方；如有侵权请联系我们删除。