基于点衍射干涉的三维形貌测量技术
摘要
为解决小区域复杂曲面三维形貌无损测量问题，提出一种基于点衍射干涉技术的三维形貌测量方法，将双光纤作为点衍射干涉条纹投射端，投射干涉条纹至待测件表面，对投影干涉条纹进行采集及处理，复原出被测物体三维形貌信息。提出了具体的三维形貌测量光路方案，建立了系统测量模型，基于仿真投影相移干涉条纹对干涉图像处理算法进行研究，对相机以及系统结构参数进行标定，并搭建实际测量系统进行图像采集及处理，最后将系统测量结果与GOM公司ATOS Compact Scan三维扫描仪测量结果进行对比。实验结果表明，两种测量方法中心高度算术平均值相差仅0.000 2 mm，搭建的点衍射干涉三维形貌测量系统中心高度测量结果标准差为0.001 3 mm，验证了所提系统的可行性。研究成果有效实现了高精度三维形貌测量，可为点衍射干涉技术在三维形貌测量领域的扩展应用提供理论参考。
引用本文（GB/T 7714）
赵时雨 ZHAO Shiyu, 高芬 GAO Fen. 基于点衍射干涉的三维形貌测量技术[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2025.
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