用于工业检测的长工作距宽光谱显微物镜设计
摘要
为解决工业检测物镜在长工作距下存在数值孔径小和光谱窄的问题，在长工作距显微物镜典型结构基础上，结合三阶像差及一阶色差理论对物镜初始结构进行求解并进一步优化，设计了一款20×长工作距宽光谱显微物镜。该物镜满足平场复消色差要求，工作距达到22.2 mm，数值孔径为0.42，畸变小于0.6%，工作波段为430~900 nm。针对该显微物镜设计了配套使用的管镜，对组合系统的成像质量进行评价，结果显示该管镜适配于设计物镜。为解决物镜制造装配中存在的偏差，对物镜进行了调芯分析和机械结构设计。最终物镜性能测试表明，该显微物镜在绿色和白色检测光源下分辨率均达到1 400 lp/mm，900 nm波长处的红外离焦仅为2 μm，是一款长工作距高分辨率工业检测显微物镜。该研究对于长工作距大数值孔径显微物镜的设计制造具有一定的参考价值。
引用本文（GB/T 7714）
申洋羽 SHEN Yangyu, 秦腾 QIN Teng, 张继艳 ZHANG Jiyan, 等. 用于工业检测的长工作距宽光谱显微物镜设计[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2025.
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