飞秒激光模板辅助制备高性能硬磁性微驱动器研究
摘要
磁性微驱动器因其能够通过磁场实现灵活的、非接触式的驱动和控制，已在生物医疗、环境治理和传感等领域中得到广泛应用。硬磁性钕铁硼材料因其磁化后具有较大的剩磁强度和矫顽力，被认为是一种理想的用于制备高性能微驱动器件的材料。然而，由于其材料尺度较大，目前缺乏一种有效的方法将其引入三维微结构，这在一定程度上限制了硬磁性微驱动器的制备。飞秒激光双光子加工技术因其真三维能力和高精度，已成为制备三维磁性微器件的重要手段。利用飞秒激光在正性光刻胶中加工辅助模板，并通过灌注工艺实现了硬磁性三维微结构的制备。相比传统软磁性微驱动器，所制备的硬磁性微驱动器展现出更强的性能，能够在高黏度液体中通过磁场驱动实现旋转，显示出广阔的应用前景。
引用本文（GB/T 7714）
王修文 Wang Xiuwen, 汪超炜 Wang Chaowei, 胡衍雷 Hu Yanlei, 等. 飞秒激光模板辅助制备高性能硬磁性微驱动器研究[J]. Chinese Journal of Lasers, 2025.
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