激光诱导前向转移复合化学沉积制备微尺度低电阻三维铜结构
摘要
在激光诱导前向转移（LIFT）技术中，通常使用金属薄膜作为供体材料，并通过转移金属液滴的逐点堆叠来实现金属微结构的打印成形。然而，采用该方法制备的铜微结构存在内部孔隙率高和电阻率高的问题，难以满足实际应用的需求。为此，提出了一种LIFT复合化学沉积的新工艺。该工艺首先利用LIFT技术制备铜骨架结构，然后通过化学沉积技术对骨架进行填充，从而形成致密的实体结构。实验结果表明，采用该新工艺制备的铜微结构的内部孔隙率仅为3.2%，且电阻率低至块体铜的2.7倍。该方法为高质量金属铜微结构的增材制造提供了一种新的可能方案。
引用本文（GB/T 7714）
杨鹏飞 Yang Pengfei, 罗炳军 Luo Bingjun, 伍志恒 Wu Zhiheng, 等. 激光诱导前向转移复合化学沉积制备微尺度低电阻三维铜结构[J]. Chinese Journal of Lasers, 2025.
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