角分辨散射测量系统光阑特性研究
摘要
基于角分辨散射套刻测量原理，构建了套刻测量光学特性模型，提出一种不同形状光阑的衍射信号仿真方法，理论分析了环形光阑、宝马标志形光阑和弓形光阑的特性，并对常规叠层标记及多叠层标记在不同光阑条件下的套刻性能参数曲线进行仿真分析。结果表明：对于常规叠层标记，环形光阑与宝马标志形光阑的套刻性能参数曲线变化趋势相似，弓形光阑的套刻性能参数曲线相较于前两者的波动较大；针对多叠层结构的套刻标记，弓形光阑套刻性能参数峰值更高，更益于实现高精度套刻测量。最后，对各光阑的适用场景进行总结，为不同结构套刻标记测量时的最优光阑选择提供理论依据和应用参考。
引用本文（GB/T 7714）
邱钧 Qiu Jun, 齐月静 Qi Yuejing, 马敬 Ma Jing, 等. 角分辨散射测量系统光阑特性研究[J]. Acta Optica Sinica, 2025.
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