复杂微结构光学元件超快激光分离技术研究
摘要
传统机械接触法分离复杂微结构光学元件时存在分离效率低、分离面边缘崩边情况严重等问题。超快激光分离技术具有分离质量高、速度快、无接触等优点，但只用于脆性平板材料的分离。通过模拟仿真分析了超快激光在分离复杂微结构光学元件过程中的失效原因。提出了液相折射率匹配介质辅助超快激光分离制造技术，即通过将光学元件置入与其折射率匹配的液相介质内形成耦合体的方法，减小工作激光在光学元件微结构处的畸变，进而实现元件内部改性面的建立。采用热浴的方式实现了改性面微裂纹的均匀受热和同步延展，实现了元件无接触分离。完成了厚度为4.2 mm的双面微透镜阵列的分离，分离速度达到100 mm/s，切面粗糙度为2.4 μm，并给出了激光改性分离的工艺窗口。该分离制造技术具有较大的应用前景。
引用本文（GB/T 7714）
谢秋晨 Xie Qiuchen, 周天丰 Zhou Tianfeng, 曾子浩 Zeng Zihao, 等. 复杂微结构光学元件超快激光分离技术研究[J]. Chinese Journal of Lasers, 2025.
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