用于长波红外探测器的超透镜设计
摘要
基于传输相位理论设计了一种超透镜。该超透镜结构由直接在锑化镓（GaSb）基底上蚀刻而成的圆形微纳米柱构成。超透镜的柱子高度在3.6~6 μm范围时，聚焦效率可达62%~67%。当圆柱高度下降到1.6 μm时，在8~12 μm波段范围内平均聚焦效率仍可达48%。此外，在宽的波段范围内，聚焦光束半峰全宽接近或突破了衍射极限，表明该超透镜具有较好的聚光效果。由此可见，该超透镜在实现较高的聚焦效率的同时也能大幅地降低刻蚀微纳米柱的工艺难度。该超透镜可以与长波红外探测器阵列直接片上集成，在提高红外焦平面阵列成像性能方面具有很大的潜力。
引用本文（GB/T 7714）
郑圣源 Zheng Shengyuan, 李毅 Li Yi, 葛梅 Ge Mei, 等. 用于长波红外探测器的超透镜设计[J]. Acta Optica Sinica, 2025.
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