单块非平面环形谐振腔的几何容差分析
摘要
单块非平面环形谐振腔因结构紧凑、受环境干扰小、频率调谐方式灵活，在高精密激光干涉测量领域被广泛应用。针对单块非平面环形谐振腔的加工，提出了一种多平面间反射的环形本征光路求解方法，同时实现了对单块非平面环形谐振腔几何容差的定量分析。研究表明，在特定类型的四面体棱镜中存在按指定面序反射的环形非平面本征光路。单块非平面环形谐振腔在一定范围内的几何偏差虽然不会影响内部光路的闭合，但可能会影响腔内本征模式的衍射损耗以及泵浦光轴和输出光轴。腔体的几何容差可以根据腔内光路自再现条件、衍射损耗以及外部装调等限制进行定量计算。可以根据本征光路理论针对某些较大的加工偏差制定补救措施，降低损失。这里提出的多平面反射系统本征光路理论也可以应用于激光陀螺仪以及其他复杂几何构型谐振腔的设计与研制。
引用本文（GB/T 7714）
彭建康 Peng Jiankang, 茹媛 Ru Yuan, 李振千 Li Zhenqian, 等. 单块非平面环形谐振腔的几何容差分析[J]. Chinese Journal of Lasers, 2025.
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