基于视线标定的光学系统波像差偏折术在位检测
摘要
为了检测未知结构参数的光学系统波像差，提出一种基于视线标定模型并结合偏折术的波前斜率获取方法，用于光学系统的在位装校及波像差检测。首先，利用视线标定模型获取光学系统的出射偏折光线的斜率；然后，结合透射相位偏折术理论对所得斜率进行积分；最后，通过模式法恢复得到波前像差。为了验证所提方法的有效性，对一套后焦距为480 mm的RC（Ritchey-Chrétien）系统进行了数值模拟。对一套无结构参数参数的RC系统中的次镜进行在位装校，使低阶像散和彗差结果的峰谷（PV）值从2145 nm下降至326 nm。然后对一块曲率半径为258.4 mm的平凸透镜进行在位装校及检测，装校前后Zernike系数的Z6项从324.0 nm下降至-2.9 nm，Z8项从92 nm下降至2.7 nm，球差检测结果与干涉仪结果基本一致，为多镜群在位装校及像差检测提供了一种可行的方法。
引用本文（GB/T 7714）
Wei Hu, Ruiyang Wang, 李大海 Li Dahai, 等. 基于视线标定的光学系统波像差偏折术在位检测[J]. Chinese Journal of Lasers, 2025.
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