相变材料对波导不同覆盖方式的调制特性研究
摘要
探究脊形光波导以不同覆盖方式结合相变材料对波导传输损耗的影响，并比较在直波导和弯曲波导上相变材料对有效折射率与传输损耗的调制效果。研究表明，相变材料仅在波导顶面覆盖时传输损耗低于传统的全覆盖方式，且在晶态与非晶态转换时同样具有良好的调制效果。为降低仅在波导顶面覆盖相变材料对制作工艺的要求，提出一种优化的相变材料与波导附着方法，利用SiO2填充波导刻蚀沟槽后，再将相变材料沉积在由SiO2与波导顶面构成的平面上。实验证明：该方法能够有效降低相变材料附着波导的传输损耗，并具有超过30 dB的光强调制效果，为研究低损耗的相变材料调制器件提供新的思路。
引用本文（GB/T 7714）
廖杰 Liao Jie, 鹿利单 Lu Lidan, 陈光 Chen Guang, 等. 相变材料对波导不同覆盖方式的调制特性研究[J]. Acta Optica Sinica, 2025.
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