基于级联多模干涉耦合器的模式选择开关
摘要
提出并制备了一种由1×3多模干涉（Multimode Interference，MMI）耦合器和3×3 MMI耦合器级联构建的二氧化硅波导模式选择开关，通过热光调制改变输入至3×3 MMI耦合器光信号的相位，可实现一阶模（E10）输入转换为基模（E00），并有选择地从目标端口输出；当输入为基模（E00）时，E00可直接由选定端口输出。开关采用光束传播方法（Beam Propagation Method，BPM）进行设计和优化，并且通过标准CMOS技术制备。测试结果表明，一阶模（E10）在两个输出端口间切换时，驱动功耗分别为170 mW和395.3 mW。在1 523~1 556 nm波长范围内，三个输出端口的插入损耗、串扰和消光比分别≤10 dB、≤-15 dB和≥15 dB。开关的上升时间为0.941 8 ms，下降时间为1.042 ms。所提出的模式选择开关在片上信号路由应用中具有良好的潜力。
引用本文（GB/T 7714）
王曼卓 WANG Manzhuo, 姚振涛 YAO Zhentao, 孙朝阳 SUN Chaoyang, 等. 基于级联多模干涉耦合器的模式选择开关[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2025.
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