基于扩束与辅助测量的大口径红外材料光学均匀性高精度检测
摘要
提出了基于扩束与辅助测量的四步干涉法检测材料光学均匀性。通过小口径红外球面波干涉仪与平行光管组合形成口径Φ400 mm的扩束准直光路，用于大口径红外材料光学均匀性的检测。为了解决红外材料厚度随口径不断增大后，传统四步法测量材料后表面反射波前时条纹对比度太差导致无法测量的问题，提出了可见光干涉仪辅助检测样品后表面面形的方法，不增加测量次数的同时，实现材料光学均匀性的绝对测量。采用该方法对口径Φ400 mm，厚度70 mm的红外锗材料光学均匀性进行了检测，光学均匀性结果为8.89×10-5。此外，对不同口径，不同厚度的硅材料和锗材料进行了光学均匀性检测，测量不确定度均优于3.4×10-5。
引用本文（GB/T 7714）
刘威剑 LIU Weijian, 黄阳 HUANG Yang, 张生杰 ZHANG Shengjie, 等. 基于扩束与辅助测量的大口径红外材料光学均匀性高精度检测[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2025.
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