激光制导系统1064 nm能量衰减器件的研制

Jing Zhang、刘桂坪 Liu Guiping、付秀华 Fu Xiuhua、林兆文 Lin Zhaowen、潘永刚 Pan Yonggang、王奔 Wang Ben、杨飞 Yang Fei

2025Chinese Journal of LasersEngineering被引 2开放获取

摘要

为了保护激光制导系统中探测器的正常运行，需要对信号接收系统的滤光器件透过的能量进行精确衰减。基于F-P滤光膜的设计理论，选用Ta2O5和SiO2作为高低折射率材料进行能量衰减滤光膜的设计。采用电子束离子辅助沉积的方法，在350~1200 nm的波段内，制备了1064 nm高透射、其余波段高截止的能量衰减膜。通过对金属Cr膜的工艺研究，经过多次实验，建立了Cr膜厚度与透射能量之间的数学模型，实现了对1064 nm光谱透射能量的精确衰减，衰减范围为10%~30%，衰减误差为±1%。

引用本文（GB/T 7714）

Jing Zhang, 刘桂坪 Liu Guiping, 付秀华 Fu Xiuhua, 等. 激光制导系统1064 nm能量衰减器件的研制[J]. Chinese Journal of Lasers, 2025.

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DOI：https://doi.org/10.3788/cjl240931

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