基于扩束动态干涉仪的晶圆抛光盘掠入射拼接面形测量方法
摘要
针对车间环境下晶圆抛光盘面形测量问题，提出使用基于扩束动态干涉仪的掠入射拼接干涉测量方法。该方法结合非球面扩束系统和子孔径拼接方法，弥补了动态干涉仪测量口径的不足；利用掠入射干涉测量解决了粗糙被测面光束散射问题，同时拓展了动态干涉仪的面形误差检测量程。研究了系统出射波前离焦变化问题，基于像散光圈自校准的子孔径拼接算法，有效消除了子孔径拼接过程中系统离焦的干扰，为高精度子孔径拼接测量提供算法保障。测量了直径为576 mm晶圆抛光盘样品表面，并与三坐标机测量结果进行对比。所提方法的截线高度测量结果的平均误差为0.1375 μm，平面度误差为0.17 μm。实验结果表明，所提方法具备晶圆抛光盘面形检测能力，拓展了动态干涉仪的应用范围。
引用本文（GB/T 7714）
芮九多 Rui Jiuduo, 巫智勋 Wu Zhixun, 邓嘉信 Deng Jiaxin, 等. 基于扩束动态干涉仪的晶圆抛光盘掠入射拼接面形测量方法[J]. Acta Optica Sinica, 2025.
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