光纤马赫-曾德尔干涉微位移测量系统
摘要
研究一种光纤马赫-曾德尔干涉测量系统，用于对目标物体微位移的测量。采用马赫-曾德尔干涉仪结构搭建外差式激光干涉光路，利用声光移频器对参考光进行频率调制，并与携带物体位移信息的测量光在光电探测器上发生干涉。针对声光移频器的频率漂移问题，令其射频信号为参考信号，将频率漂移引入测量信号和参考信号中，使两路信号具有相同的移频误差，在对两路信号进行鉴相时，移频误差相互抵消。信号解调采用可判断信号超前滞后关系的相关鉴相法进行处理，得到物体的位移大小和方向信息。实验结果表明：在±25 μm的位移范围内，位移测量最大相对误差为0.78%，最小相对误差为0.145%，线性拟合的拟合系数R2为0.9999，对不同位移的重复测量一致性误差小于0.033 μm，表明测量系统具有较好的测量准确性和稳定性。
引用本文（GB/T 7714）
潘文 Pan Wen, 冯晓军 Feng Xiaojun, 刘星雨 Liu Xingyu, 等. 光纤马赫-曾德尔干涉微位移测量系统[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2025.
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