面向大口径光学元件面形检测的点衍射瞬态干涉仪设计
摘要
面向大口径凹面和凸面的光学面形干涉检测，对干涉系统的数值孔径和精度提出了更高的要求。同时，干涉腔较长导致时间移相容易受到环境气流、振动等因素扰动。提出了一种面向大口径光学元件面形检测的瞬态干涉仪。首先结合双光纤和针孔衍射方法，通过45°放置的针孔板，同时产生数值孔径NA=0.5的参考光和测试光。基于空间偏振同步相移方法，利用偏振阵列相机同时获得4幅不同相移量的干涉图像，对单次采集的4幅瞬时干涉图像进行处理，便可直接获得被测面形信息。各项设计数据表明，设计出了具有16 mm-1面形误差检测能力、NA=0.5的中低频瞬态点衍射干涉系统。最后，结合Hindle球，将凸面问题转化为凹面问题，以达到大口径凸球面的测量目的。
引用本文（GB/T 7714）
金乐龄 Jin Leling, 王建 Wang Jian, 曾大舟 Zeng Dazhou, 等. 面向大口径光学元件面形检测的点衍射瞬态干涉仪设计[J]. Acta Optica Sinica, 2025.
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