套刻标记光学模型建立及性能参数仿真方法
摘要
针对光栅周期与入射光波长接近的套刻标记仿真需求，基于角分辨散射测量原理，提出一种会聚光照射下联合光瞳采样和严格耦合波法计算光栅衍射效率的方法。利用该方法建立了套刻测量光学特性模型，针对不同入射光波长及偏振态条件，计算不同结构套刻标记的衍射效率（DE）、测量灵敏度（K）和叠层灵敏度（SS）等关键参数，给出实现高精度套刻测量的装置最佳配置条件的筛选原则，总结出测量灵敏度和叠层灵敏度接近0时套刻测量会出现极大误差的原因。所提方法和仿真分析结果可为套刻标记的设计优化提供理论支持与应用参考。
引用本文（GB/T 7714）
邱钧 Qiu Jun, 齐月静 Qi Yuejing, 苏佳妮 Su Jiani, 等. 套刻标记光学模型建立及性能参数仿真方法[J]. Acta Optica Sinica, 2025.
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