基于二氧化钒相变特性的激光防护型薄膜
摘要
光学系统及光电器件在高能激光辐照下易出现损伤，因此光电器件的激光防护至关重要。二氧化钒有独特的相变特性，在热和光的刺激下能够实现可逆的半导体-金属相变。同时，二氧化钒具有较低的相变阈值、较高的损伤阈值和较短的响应时间，非常适用于激光防护。针对处于半导体相单层二氧化钒薄膜红外透射率不高的问题，进行了多层复合膜系的设计与优化，并且利用有限元法分析了激光诱导二氧化钒相变的光热耦合特性，得出二氧化钒折射率随温度的变化规律，在此基础上反演了多层复合膜系的透射率。结果显示，所设计的多层膜系在波长为3 μm时，透过率为66.81%，红外开关率为75.43%，该研究拓展了二氧化钒薄膜在中红外领域的激光防护应用。
引用本文（GB/T 7714）
陈旭彬 Chen Xubin, 凌秀兰 Ling Xiulan, 邵智聪 Shao Zhicong. 基于二氧化钒相变特性的激光防护型薄膜[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2025.
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