空间束缚等离子体极紫外宽带光源高转换效率实验研究
摘要
在先进节点半导体量测中，宽带极紫外（EUV）计量已经展现出了巨大优势。为满足先进节点下的高通量量测需求，开展了激光锡等离子体EUV宽带光源优化研究。首先，对自研的EUV光谱仪的波长和光谱强度进行了校准，采用校准后的EUV光谱仪对EUV宽带光源的10~20 nm辐射转换效率进行了表征。然后，采用1 μm激光在第一次脉冲作用后的固体Sn靶上进行了原位第二次脉冲轰击，获得了10~20 nm宽带EUV高达52.5%的转换效率，是迄今为止所报道的该波段最高转换效率。其主要原因是第一发激光脉冲烧蚀形成的凹槽对后续激光脉冲形成的锡等离子体造成了空间约束，后续脉冲产生锡等离子体的EUV发射显著增加。相关研究结果为高转换效率EUV宽带光源研发提供了新的思路，也为未来半导体先进节点高通量量测的发展提供了技术支撑。
引用本文（GB/T 7714）
何梁 He Liang, 胡桢麟 Hu Zhenlin, 王天泽 Wang Tianze, 等. 空间束缚等离子体极紫外宽带光源高转换效率实验研究[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2025.
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