6H‑SiC表面亚波长周期结构的飞秒激光制备及机理研究
摘要
飞秒激光在材料表面诱导产生亚波长周期性表面结构不仅可以改变材料表面的物化性质，而且具有加工速度快、不需要使用光刻机等昂贵的设备等优点，在多个领域中具有广阔的应用前景。利用飞秒激光直写微加工技术，对6H-SiC材料表面亚波长周期结构特性及产生机理进行了研究。通过控制入射激光功率，在样品表面诱导产生了亚波长尺度高频率条纹结构。实验结果表明：亚波长周期条纹结构的形成与入射激光功率大小存在强烈的依赖关系；在两种不同偏振情况下，飞秒激光在样品表面诱导形成的亚波长表面条纹结构具有可重复擦写的特性。初步讨论了半导体材料表面亚波长周期性结构形成的物理机制，热熔效应与表面等离激元决定了激光诱导表面微结构的形貌和烧蚀特性。研究结果对激光诱导表面周期结构的可控制备及形成机理研究提供了参考。
引用本文（GB/T 7714）
和万霖 He Wanlin, 秦彦军 Qin Yanjun. 6H‑SiC表面亚波长周期结构的飞秒激光制备及机理研究[J]. Chinese Journal of Lasers, 2024.
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