基于表面热透镜的单透镜测量光学薄膜吸收技术研究
摘要
吸收损耗是光学薄膜元件的重要性能参数之一，高效、准确测量光学薄膜的吸收损耗对于研制高性能、低损耗的光学薄膜元件至关重要，其中表面热透镜法是最常用的吸收测量手段。采用表面热透镜技术的测量装置可以分为分光路与共光路两种，其中分光路装置测量精度高，但光路复杂且调节难度大，同时易受环境影响，共光路装置简单、易调节，但装置参数固定、测量精度相对较低。针对该问题提出了共光路装置的改进设计，通过泵浦光束与探测光束平行入射的方式并利用透镜聚焦实现了二者焦斑的重合。基于改进技术搭建了单透镜测量装置并对光学薄膜样品进行了测量，测量结果与分光路装置较为接近。单透镜设计在保证分光路装置优势的前提下简化了装置、节省了成本，减少了调试环节、降低了调试难度，并在一定程度上消除了环境对装置的影响，对于保证吸收测量准确度、制备低损耗高性能的光学薄膜元件具有重要意义。
引用本文（GB/T 7714）
花艳 Hua Yan, 李大伟 Li Dawei, 韩玉晶 Han Yujing, 等. 基于表面热透镜的单透镜测量光学薄膜吸收技术研究[J]. Chinese Journal of Lasers, 2025.
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