基于扩散式光声传感器的SF6气体泄漏监测技术
摘要
针对SF6气体泄漏监测设计出了具有高灵敏度、微型化与低成本特点的光声气体传感器。使用宽谱红外热辐射光源与中心波长10.5 μm的滤光片作为传感器的激发光源，有效地避免了空气中H2O与CO2的吸收干扰。非共振光声池采用扩散式进气结构，SF6气体通过光声池外壁的微孔以自由扩散的形式进入光声腔，使用该结构减小了传感器体积、降低了成本。该传感器的整体外形尺寸为1.4 cm×1.5 cm×1.65 cm，光声池气室容积为0.13 mL。实验结果表明，该传感器对SF6检测响应时间为178 s，在0~100 ppm浓度范围内响应度为14.47 μV/ppm，响应曲线拟合优度R2=0.997 6，光声信号响应与SF6浓度具有良好的线性关系。根据方差分析，在积分时间为10 s时，SF6气体检测极限达到0.3 ppm。
引用本文（GB/T 7714）
杨天荷 YANG Tianhe, 贺家慧 HE Jiahui, 赵继宽 ZHAO Jikuan, 等. 基于扩散式光声传感器的SF6气体泄漏监测技术[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2024.
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