集成化光纤陀螺用高宽深比氮化硅光引擎芯片
摘要
针对惯性导航系统对光纤陀螺小型化和低成本的迫切需求，提出并设计了一种基于高宽深比氮化硅波导的集成化光纤陀螺用光引擎芯片。该芯片可兼具光源耦合、分束、传输和起偏等片上功能。光引擎芯片主要由两个1×2多模干涉（MMI）分束器和起偏器构成。通过Lumerical FDTD对芯片的重要参数进行仿真计算，确定MMI分束器的尺寸，为15 μm×200 μm。该芯片偏振消光比可达33 dB，且分光均匀。最后，讨论并设计了氮化硅光引擎芯片低损耗的加工工艺。所设计的高宽深比氮化硅光引擎芯片，为高精度光纤陀螺的小型化和集成化奠定了坚实的基础。
引用本文（GB/T 7714）
李佳龙 Li Jialong, 牛亚楠 Niu Yanan, 冯昌坤 Feng Changkun, 等. 集成化光纤陀螺用高宽深比氮化硅光引擎芯片[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2024.
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