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基于级联柔性光栅的多点扫描显微系统设计
付颜玮 Fu Yanwei、曾嘉庆 Zeng Jiaqing、马万卓 MA Wan-zhuo、韩冬冬 Han Dongdong、田少乾 Tian Shaoqian、刘智 Liu Zhi、刘显著 Liu Xianzhu、姜会林 Jiang Huilin
2024Acta Optica SinicaEngineering被引 1
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引用本文（GB/T 7714）
付颜玮 Fu Yanwei, 曾嘉庆 Zeng Jiaqing, 马万卓 MA Wan-zhuo, 等. 基于级联柔性光栅的多点扫描显微系统设计[J]. Acta Optica Sinica, 2024.
DOI：https://doi.org/10.3788/aos241053
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