基于十字型异质多芯波导的硅光端面耦合器
摘要
提出了一种基于十字型氮化硅（Si3N4）波导-半刻蚀硅波导结构的异质多芯端面耦合器，以实现光纤和绝缘体上硅条形波导的模场匹配。该设计采用Si3N4波导和硅（Si）波导共同引导光模场的结构，简化了工艺流程，避免了对二氧化硅（SiO2）进行深刻蚀和氮氧化硅（SiON）的使用，实现了硅光芯片与光纤的高效耦合。仿真结果表明：在1550 nm处，该端面耦合器与高数值孔径光纤端面的耦合效率为97.1%（横电模，耦合损耗为-0.13 dB）、97.5%（横磁模，耦合损耗为-0.11 dB）。
引用本文（GB/T 7714）
张立桀 Zhang Lijie, 范艳晶 Fan Yanjing, 胡晶晶 Hu Jingjing, 等. 基于十字型异质多芯波导的硅光端面耦合器[J]. Acta Optica Sinica, 2024.
引文网络
本站仅收录题录与摘要供学习参考，全文版权归属出版方；如有侵权请联系我们删除。