单光楔可变补偿的非球面子孔径拼接干涉测量方法
摘要
非球面光学元件已广泛应用于现代光学系统中，但高精度、灵活的非球面面形检测仍是一个难题。提出了一种单光楔可变补偿的非球面子孔径拼接干涉测量方法，以实现非球面的高精度拼接干涉测量。该方法利用单光楔垂轴倾斜对波前进行调制，实现对离轴子孔径基础像散和彗差（简称像差）的补偿。同时，光楔的轴向运动也能够改变子孔径的径向离轴位置，进而简化子孔径扫描机械系统。对光楔的波前像差调制机理进行了分析，并提出了光楔补偿器的完整在位位姿对准方法，以有效提高系统像差补偿和面形测量精度。最后，将本文方法的测量结果和三维轮廓仪的点扫描结果进行横向对比，结果表明，非球面单光楔补偿拼接干涉测量方法能够实现峰谷值约为λ/8的测量精度，具有补偿结构简单、灵活性好的系统优势。
引用本文（GB/T 7714）
宗毅 Zong Yi, 孙晟遥 Sun Shengyao, 史玺源 Shi Xiyuan, 等. 单光楔可变补偿的非球面子孔径拼接干涉测量方法[J]. Acta Optica Sinica, 2024.
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