深紫外二维光子晶体偏振器
摘要
针对浸没式光刻机偏振照明系统中高透射率和高消光比的偏振器件需求，提出一种低损耗的深紫外光子晶体偏振器。基于光子带隙和自准直效应实现TM和TE偏振模式的分离以及TE偏振的高透射率传播，通过引入倾斜界面实现偏振分束。使用平面波展开法和时域有限差分法分别对等频率图和传播稳态进行仿真，结果表明该偏振器在193 nm波长下TE偏振透射率达到99%左右，偏振消光比达65 dB以上。引入倾斜界面后该偏振器在-5°~15°的入射光角度范围内实现了透射率超过95%的自准直传输和约120°的偏振分束角。
引用本文（GB/T 7714）
姚志方 Yao Zhifang, 吴芳 Wu Fang, 步扬 Bu Yang. 深紫外二维光子晶体偏振器[J]. Acta Optica Sinica, 2024.
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