焦斑分布对连续相位板面形特性影响分析
摘要
基于近场与远场的传输关系研究波前梯度分布与远场焦斑分布的关系，根据靶构型和光束入射角度的不同将焦斑分为圆形焦斑、椭圆焦斑和偏心焦斑，采用统计学的方法量化分析三类焦斑对应的面形及随机波前在不同特征参数下的分布规律。结果表明：近场面形梯度直方图与远场焦斑不同半径光强占比直方图分布趋势一致，焦斑半径和能量分布会改变面形梯度分布。能量均匀分布的圆形焦斑和椭圆焦斑的一维梯度呈正态分布，焦斑尺寸决定梯度分布范围；椭圆焦斑的二维梯度随椭圆离心率的增大而偏向梯度小值；偏心焦斑的二维梯度峰值偏向梯度大值，偏心分布会增加实际加工难度，但直方图分布受偏心率影响较小。该研究可用于元件加工误差和检测性能的预估及波前检测领域。
引用本文（GB/T 7714）
徐守英 Xu Shouying, 周申蕾 Zhou Shenlei, 张艳丽 Zhang Yanli, 等. 焦斑分布对连续相位板面形特性影响分析[J]. Acta Optica Sinica, 2024.
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