飞秒激光双光子聚合技术的发展及其在功能性微纳器件制备上的应用（特邀）
摘要
随着微纳加工技术在各领域的广泛应用，飞秒激光加工因其独特的优势，特别是在制备小尺寸、高精度以及真三维结构方面的卓越表现，而备受瞩目。本文首先对飞秒激光双光子聚合的加工原理进行了深入探讨，重点包括双光子非线性吸收和阈值效应。随后，介绍了光场调制技术，该技术能够将单一焦点转化为多焦点阵列、面光场或体光场，从而实现对特定结构的快速曝光，为复杂耗时结构的加工提供灵活高效的解决方案。接着，详细阐述了飞秒激光加工在微机器人、微光学器件、手性光学以及生物医学等多个领域的应用。这些案例展示了飞秒激光加工技术的广泛适用性，以及在推动相关领域发展方面所起到的重要作用。最后，对目前超快激光加工所面临的挑战进行了分析，并对未来的发展趋势进行了展望。
引用本文（GB/T 7714）
饶晓旭 Rao Xiaoxu, 张润民 Zhang Runmin, 吴昊 Wu Hao, 等. 飞秒激光双光子聚合技术的发展及其在功能性微纳器件制备上的应用（特邀）[J]. Acta Optica Sinica, 2024.
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