不同环境下飞秒激光烧蚀对砷化镓光电特性的影响（特邀）
摘要
飞秒激光烧蚀技术是半导体表面改性的一项重要技术手段。本文旨在探究飞秒激光烧蚀技术对砷化镓表面微纳结构及光电性能的调控效应。通过在不同环境下进行飞秒激光加工，观察到样品表面形成了规则的条纹状结构、部分规则的条纹状结构和不规则的椭圆状结构。通过使用X-射线光电子能谱仪测试了材料表面性质的变化，同时通过傅里叶变换红外光谱分析验证了微纳结构对光吸收率产生的影响。此外，电流-电压曲线测量结果表明，经过飞秒激光烧蚀处理后的样品显示出更高的电阻率。证明了气体的选择对微纳结构和光电性能的调控有着重要影响。这项研究为砷化镓光电子器件，特别是高效、耐压型探测器等性能的提升提供了新的技术手段。
引用本文（GB/T 7714）
李扬 Li Yang, 项焱蓉 Xiang Yanrong, 蓝志强 Lan Zhiqiang, 等. 不同环境下飞秒激光烧蚀对砷化镓光电特性的影响（特邀）[J]. Acta Optica Sinica, 2024.
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