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湿法刻蚀钝化对GaAs表面性能影响的工艺研究
张亚磊 Zhang Yalei、兰云萍 Lan Yunping、韩佳媛 Han Jiayuan、张洪榕 Zhang Hongrong、邹永刚 Zou Yonggang
2024Chinese Journal of LasersEngineering被引 1
摘要
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引用本文（GB/T 7714）
张亚磊 Zhang Yalei, 兰云萍 Lan Yunping, 韩佳媛 Han Jiayuan, 等. 湿法刻蚀钝化对GaAs表面性能影响的工艺研究[J]. Chinese Journal of Lasers, 2024.
DOI：https://doi.org/10.3788/cjl231276
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