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光源空间相干性对深紫外光刻照明均匀性的影响
宋子健 Song Zijian、龚爽 Gong Shuang、步扬 Bu Yang、魏爽 Wei Shuang
2024Acta Optica SinicaEngineering被引 1
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引用本文（GB/T 7714）
宋子健 Song Zijian, 龚爽 Gong Shuang, 步扬 Bu Yang, 等. 光源空间相干性对深紫外光刻照明均匀性的影响[J]. Acta Optica Sinica, 2024.
DOI：https://doi.org/10.3788/aos240695
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