Herriott型气体池的反射镜装配公差影响分析
摘要
基于Herriott型气体池的基本原理以及ABCD矩阵的扩展矩阵，分析了对气体池参数产生影响的公差类型，建立了两反射镜间距、倾斜以及偏心公差的数学模型。最后，仿真分析了不同等效光程下，公差对出射光能量利用率的影响。所提出的数学模型和分析方法可用于任意单环Herriott型气体池，并且便于在实际气体池的设计中针对不同的等效光程给出合理的两镜间距、倾斜以及偏心公差的允许变动量，这对气体池的工程实现具有重要的理论意义。
引用本文（GB/T 7714）
周新雨 Zhou Xinyu, 胡源 Hu Yuan, 刘子龙 Liu Zilong, 等. Herriott型气体池的反射镜装配公差影响分析[J]. Acta Optica Sinica, 2024.
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