波长可调谐氮化硅外腔半导体激光器
摘要
波长可调谐外腔半导体激光器在片上全光通信和片上光子器件互连集成中发挥着至关重要的作用。采用两个半径不同的微环谐振器和两种不同结构的马赫-曾德尔干涉仪，设计了一种基于厚度为700 nm的氮化硅波导的外腔反射镜，并采用大马士革工艺制作了外腔反射镜。结合Ⅲ-Ⅴ族反射型半导体光放大器和可调谐氮化硅外腔反射镜，通过对移相器热电极电压、可调耦合器热电极电压和微环谐振器热电极电压等参数进行调节，获得了最大调谐范围为55 nm、边模抑制比超过40 dB的外腔半导体激光器。
引用本文（GB/T 7714）
陈怡茗 Chen Yiming, 丛庆宇 Cong Qingyu, 贾连希 Jia Lianxi, 等. 波长可调谐氮化硅外腔半导体激光器[J]. Chinese Journal of Lasers, 2024.
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