用于极紫外光刻非球面光学元件检测的复合三相位计算全息元件
摘要
提出一种同时出射3个波前的复合三相位计算全息图（CGH），并将其应用于波前误差校正。通过6次组合测量标定出CGH基底制造误差和图形位置误差，并在检测结果中予以消除。所测试的极紫外光刻（EUVL）非球面光学元件峰谷（PV）值和均方根（RMS）误差分别为31.6 nm和4.88 nm。此外，对同一非球面光学元件进行基于折射零位补偿的检测实验，其PV值和RMS误差分别为38.6 nm和5.14 nm。所提出的复合三相位CGH具有实现亚纳米量级的EUVL非球面光学元件面形检测潜力。
引用本文（GB/T 7714）
张海涛 Zhang Haitao, 谢常青 Xie Changqing. 用于极紫外光刻非球面光学元件检测的复合三相位计算全息元件[J]. Acta Optica Sinica, 2024.
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