硅基波导集成光学相控阵芯片——设计难点与突破（特邀）
摘要
以自动驾驶为代表的移动应用正在大力推动激光雷达向标准化和轻量化发展，新一代的固态激光雷达有望在芯片上单片集成，类似于电子芯片自由部署在智能传感平台上，大幅降低量产成本和应用门槛。在硅基平面波导集成平台上，利用半导体工艺并以光学相控阵为集成范式实现芯片化的固态激光雷达，不仅能够实现数字化的激光波束调控和软件定义的自适应扫描，而且能够最大限度地减少分立光学组件的高精度装调，提高系统在复杂工况下的可靠性。从光学相控阵的波束成形和波束扫描出发，对标自动驾驶激光雷达的典型应用需求，分析波导集成光学相控阵设计的理论参数和设计挑战，综述当前学界在大规模集成上的进展和突破，着重介绍激光扫描赋能、异质异构集成和指向混淆消除方面的工作，并对后续发展进行展望。
引用本文（GB/T 7714）
许维翰 Xu Weihan, 周林杰 Zhou Linjie, 陈建平 Chen Jianping. 硅基波导集成光学相控阵芯片——设计难点与突破（特邀）[J]. Acta Optica Sinica, 2024.
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