基于硅MEMS技术的高灵敏度微型光纤法布里-珀罗压力传感器
摘要
基于微机电系统技术设计制备了一种微型化光纤法布里-珀罗传感器，具备高灵敏度和可批量制造的特点。传感器内部的法珀腔由刻蚀后的SOI晶圆与BF33玻璃阳极键合而成，传感器敏感膜片采用了绝缘衬底上的单晶硅材料。采用激光精细切割技术对传感器单元进行独立分离，使得单个传感器的整体外径仅为400 μm，高度为220 μm。在此基础上，搭建了信号解调实验平台，并对传感器的感压特性进行了详尽测试。测试结果显示，在0~50 kPa的压力范围内，传感器的压力灵敏度可达到18.5 nm/kPa，最大非线性度为0.47%，重复性为0.18%，迟滞为0.18%。此外，该传感器具有体积小、灵敏度高、电磁兼容、生物兼容以及稳定性强等优点，在生物医学和医疗领域具备巨大的商业转化价值。
引用本文（GB/T 7714）
李文豪 LI Wenhao, 贾平岗 JIA Pinggang, 王军 WANG Jun, 等. 基于硅MEMS技术的高灵敏度微型光纤法布里-珀罗压力传感器[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2024.
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