多条薄膜铌酸锂波导热光移相器设计与性能对比
摘要
通过多物理场模拟对比了不同加热电路时三条薄膜铌酸锂波导情况下热光移相器的温度分布、调制效率与瞬态响应。结果显示：薄膜铌酸锂热光移相器总阻值不变的情况下，在仅有一条位于中心波导正上方的加热电极时具有最高的热调制效率；采用多条离散分布的加热电阻经优化后可在调制效率基本不变的情况下获得更优的热串扰，尤其适用于多波导集成时的局部调制；三维多物理场模拟结果显示优异的热调制效率（约34 mW），且器件瞬态响应时间约为180 μs。
引用本文（GB/T 7714）
卢金龙 Lu Jinlong, 郝婷 Hao Ting, 李志浩 Li Zhihao, 等. 多条薄膜铌酸锂波导热光移相器设计与性能对比[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2024.
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