基于频率调制与分振幅解调的广义光谱椭偏技术
摘要
<p>提出了一种基于频率调制与分振幅解调的广义光谱椭仪方案，与现有时间调制型与时频混合调制型广义光谱椭偏技术相比，其不含运动部件与电控元件，可实现被测样品全部16个Mueller矩阵元素光谱的实时测量。与现有频率调制型广义光谱椭偏技术相比，其测量结果的光谱分辨率更高且降低了通道串扰产生的概率。</p>
引用本文（GB/T 7714）
邓仲勋 DENG Zhongxun, 权乃承 QUAN Naicheng, 李思远 LI Siyuan, 等. 基于频率调制与分振幅解调的广义光谱椭偏技术[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2024.
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