基于马赫-曾德尔干涉仪的1×8硅基热光开关
摘要
设计并制备了一种基于树形结构的1×8硅基热光开关，该热光开关由1个2×2和6个1×2马赫-曾德尔干涉仪的基本单元结构组成。该1×8硅基热光开关采用与互补金属氧化物半导体兼容的工艺制造。通过氮化钛加热器来改变波导的温度，利用硅的热光效应实现光开关功能。实验结果表明：在1550 nm工作波长下，该热光开关的平均片上插入损耗约为1.1 dB；所有输出端口的串扰都小于-23.6 dB；开关响应时间小于60 μs。
引用本文（GB/T 7714）
高小勇 Gao Xiaoyong, 刘阳阳 Liu Yangyang, 胡光熹 Hu Guangxi, 等. 基于马赫-曾德尔干涉仪的1×8硅基热光开关[J]. Acta Optica Sinica, 2024.
引文网络
本站仅收录题录与摘要供学习参考，全文版权归属出版方；如有侵权请联系我们删除。