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KrF深紫外光刻投影物镜光机热集成分析与优化
韩星 Han Xing、江伦 Jiang Lun、李延伟 Li Yanwei、李骏驰 Li Junchi
2024Acta Optica SinicaAgricultural and Biological Sciences被引 4
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引用本文（GB/T 7714）
韩星 Han Xing, 江伦 Jiang Lun, 李延伟 Li Yanwei, 等. KrF深紫外光刻投影物镜光机热集成分析与优化[J]. Acta Optica Sinica, 2024.
DOI：https://doi.org/10.3788/aos231895
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