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用于迷你无人飞行器探测的硅基MEMS轮形振膜光纤声传感器研制
纪康宁 Ji Kangning、胡昕宇 Hu Xinyu、熊林森 Xiong Linsen、汪海波 Wang Haibo、祁志美 Qi Zhimei
2024Acta Optica SinicaEngineering被引 3
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引用本文（GB/T 7714）
纪康宁 Ji Kangning, 胡昕宇 Hu Xinyu, 熊林森 Xiong Linsen, 等. 用于迷你无人飞行器探测的硅基MEMS轮形振膜光纤声传感器研制[J]. Acta Optica Sinica, 2024.
DOI：https://doi.org/10.3788/aos231721
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