基于PDMS增敏空芯微瓶谐振腔的高灵敏温度传感器
摘要
提出并实现了一种基于聚二甲基硅氧烷（PDMS）增敏空芯微瓶谐振腔（PS-HCMR）的高灵敏温度传感器。采用提拉镀膜法在高Q值（~7.83×107）PS-HCMR表面均匀涂敷一层PDMS薄膜以实现热敏功能化，基于PS-HCMR回音壁模共振谱的热敏感性以及PDMS的高热光效应和热膨胀效应，实现了对温度信号的高灵敏度感知与测量。实验结果表明：当膜层厚度为150 μm时，温度灵敏度可达0.127 nm·℃-1，相比于纯SiO2 HCMR提高了32倍。所提出的PS-HCMR的温度传感器具有灵敏度高、制备简单、结构紧凑等优势，在工业化控制、电力系统、环境监测等领域中具有良好的应用前景。
引用本文（GB/T 7714）
梁中伟 Liang Zhongwei, 陈彧芳 Chen Yufang, 鹿姚 Lu Yao, 等. 基于PDMS增敏空芯微瓶谐振腔的高灵敏温度传感器[J]. Chinese Journal of Lasers, 2024.
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