用于极紫外光刻的高功率能量回收型自由电子激光光源
摘要
未来极紫外光刻技术的发展亟需更高功率的光刻光源,能量回收型自由电子激光光源可以实现千瓦量级以上的功率输出,是一种极具潜力的高功率极紫外光刻光源。主要介绍了高功率能量回收型自由电子激光光源的工作原理、发展现状以及所面临的关键技术挑战。
引用本文（GB/T 7714）
周奎 Zhou Kui, Peng Li, 吴岱 Wu Dai, 等. 用于极紫外光刻的高功率能量回收型自由电子激光光源[J]. Chinese Journal of Lasers, 2024.
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